电子器件（半导体芯片）制造业清洁生产评价指标体系

本评价指标体系规定了电子器件制造业中硅基半导体芯片制造生产企业（生产线）清洁生产的一般要求。本指标体系将清洁生产指标分为六类，即生产工艺装备及技术、资源能源消耗指标、资源综合利用指标、污染物产生指标、产品特征指标、清洁生产管理指标。

本指标体系适用于电子器件制造业中硅基半导体芯片制造生产企业（生产线）的清洁生产审核、清洁生产潜力与机会的判断以及清洁生产绩效评定和清洁生产绩效公告制度，也适用于环境影响评价、排污许可证、环保领跑者等环境管理制度。